微振动的纳米精度实时干涉检测

摘要：

文章报告了本实验室在微振动纳米精度实时干涉检测方面的研究工作,描述了几种检测系统的测量原理,给出了测量结果.

关键词： 实时检测 干涉仪 半导体激光器 微振动 纳米精度测量 正弦相位调制

作者: 王向朝 宋松 王学锋 李代林

作者单位: 中科院上海光学精密机械研究所信息光学实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 437-439

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）