微镜转动角度的Fabry-Perot干涉测量

摘要：

给出了测量微镜转动角度的一种光学方法,此方法是基于F-P板上下表面反射光的光程差随准直激光束的入射角变化,由测量光程差来得到微镜转动角度.此方法的测量范围为0°--90°,测量分辨率为3.2arcsec.

关键词： F-P干涉仪 微镜 转动角度 光学测量 半导体激光器

作者: 张彩妮 王向朝 王学锋

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 434-436

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）