微悬臂弹性系数对AFM表面力测量的影响

摘要：

在利用AFM进行表面力测量过程中,微悬臂的弹性系数是影响测量结果的关键.本文采用”切线法”分析了采用不同弹性系数的微悬臂得到的测力曲线的原理,并采用6种不同弹性系数的微悬臂进行了实验,实验结果与理论分析具有较好的一致性.

关键词： 原子力显微镜 表面力测量 微悬臂 弹性系数 切线法

作者: 陈峰 杨勇 刘庆纲 胡小唐

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家实验室(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 431-433

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）