BGS6341型电子薄膜应力分布测试仪及其在微/纳米测试中的应用
介绍了BGS6341型电子薄膜应力分布测试仪的测试原理、应用领域、技术指标及其在微/纳米测试中的具体应用.该仪器采用激光干涉原理测量由于应力造成的硅片(或其他基片)的变形,通过力学模型由变形求出薄膜的应力分布.由于该仪器应力测试是通过面形测试入手的,因此还可用于各种具有反射性能的基片和加工表面的平整度、曲率半径的测试.
电子薄膜 应力分析 微纳米测试 电子测试仪
史红民 陆耀东 王昊 江一平 满春阳
北京光电技术研究所(北京)
国内会议
重庆
中文
423-424,447
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）