微探针测量技术

摘要：

针对微米/纳米尺度高精度测试问题,结合近些年发展的扫描探针显微技术及其技术成熟的微探针技术,提出微探针测头与高精度位移机构相结合是解决微/纳米结构及器件尺寸的一种有效方法,同时对利用微探针进行测量后出现的理论与技术问题进行了分析,提出了解决方法,并给出了典型的实验系统,证明在微/纳米尺度进行测量是可行的.

关键词： 微机械 扫描探针显微镜 微探针 坐标测量 微米/纳米尺度 微尺度几何测量

作者: 孙涛 阎永达 董申

作者单位: 哈尔滨工业大学精密工程研究所(哈尔滨);中国工程物理研究院核物理与化学研究所(绵阳) 哈尔滨工业大学精密工程研究所(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 420-422

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）