多自由度微定位技术研究展望

摘要：

微定位技术是前沿技术之一,在精密机械和精密仪器中应用广泛.本文对目前常见的机械传动、弹性变形、直线电机和智能材料等几种微定位机构的工作原理、特点和优缺点进行了介绍和比较.着重介绍了压电驱动的微定位机构.最后介绍了笔者在这一领域的研究工作.

关键词： 机械传动 弹性变形 直线电机 形状记忆合金 压电 微定位机构

作者: 蔡秀梅 秦岚 潘英俊

作者单位: 重庆大学光电工程学院(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 41-43

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）