MEMS使用控制开关初探

摘要：

介绍了使用控制开关的应用背景、基本功能要求,建立了MEMS使用控制开关的结构模型、分析了基本功能单元的工作原理.作者还结合文献报道实例,讨论了引信安全确保应用中MEMS使用控制开关的具体实现方案,指出了使用控制开关对MEMS技术的明确需求.

关键词： 使用控制 MEMS 引信 控制开关 微机械电子系统 安全保险器件

作者: 高杨 李枚

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所,先进传感器与执行器中心(绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 410-412

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）