激光反馈干涉测量PZT驱动器的位移

摘要：

压电晶体驱动器已经用于亚微米级位移的测量和控制.有许多测量微位移的干涉方法,然而难以做出结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统方法都需要许多光学元器件.本文提出用激光反馈干涉水测试PZT驱动器的动作特性,分析和讨论了激光反馈干涉信号的产生和处理方法,并给出了双压电晶片(bimorph)型PZT位移的实验结果.

关键词： 激光反馈干涉 位移测量 PZT驱动器 微位移 双压电晶片

作者: 王鸣 聂守平 李达成

作者单位: 南昌大学物理系(南昌);南京师范大学物理科学与技术学院,光电技术江苏省重点实验室(南京) 南京师范大学物理科学与技术学院,光电技术江苏省重点实验室(南京) 清华大学,精密测试技术与仪器国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 403-405

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）