基于SPM的纳米计量技术

摘要：

SPM仪器发明20年来,已在纳米科技领域中发挥了不可替代的作用,SPM同时也是极有潜力的纳米计量仪器.文章对扫描探针显微镜在纳米计量中应用的一些关键问题,如误差来源,漂移补偿和纳米定位等进行了讨论.

关键词： 纳米计量 节扫描探针显微镜 纳米定位 漂移补偿 表面粗糙度测量

作者: 黄文浩 陈宇航

作者单位: 中国科学技术大学精密机械及精密仪器系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 470-472

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）