纳米压入法MEMS材料硬度的测量误差分析

摘要：

以体积材料硬度和显微硬度测量与评定原理为基础,介绍了纳米压入法MEMS材料硬度的测量与评定原理.根据纳米压入法MEMS材料硬度的测量原理,对纳米压入仪中的产生硬度测量误差的因素进行了分析.针对Vickers压头,给出了测量仪器、压头和压头与试样表面初始接触点引起的测量误差计算公式.

关键词： MEMS材料 纳米压入 硬度 测量误差 微机电系统

作者: 赵则祥 蒋庄德 王海容 尹燕玲

作者单位: 西安交通大学精密工程研究所(西安);中原工学院 西安交通大学精密工程研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 457-461

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）