角度传感器及其在纳米测试技术中的应用

摘要：

文中叙述了临界角度传感器的基本原理、性能特点,并给出了角度传感器的校正方法.结合该传感器在原子力显微镜中的实际应用所表现出来的特性,分析了其在纳米测试技术中的应用前景.

关键词： 角度传感器 原子力显微镜 纳米测试技术 角位移校正测试系统

作者: 刘庆纲 杨勇 李志刚 胡小唐 清野 慧

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津) 日本东北大学工学部(日本)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 452-454

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）