微机电系统中残余应力的检测和应用研究

摘要：

微机电系统中残余应力会导致结构弯曲、下塌或断裂,这些会影响和限制结构的尺寸,降低结构的使用寿命,甚至导致器件的失效.因此,残余应力的检测对于微加工工艺的发展和监控具有非常重要的意义.文章总结了几种常用的残余应力检测技术,并对其中的两种方法(谐振频率法和阈值电压法)进行了一定的发展,建立了相应的理论模型,得到了计算公式和算例.同时,还给出了几个应用残余应力制作MEMS器件的实例.

关键词： 微机电系统 残余应力 谐振频率 阈值电压 微加工工艺

作者: 王丛舜 昌盛 方竞 张大成

作者单位: 北京大学力学与工程科学系(北京) 北京大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 393-395

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）