微电子机械系统技术及市场化应用

摘要：

首先简述了微电子机械系统(MEMS)技术的发展,阐述了三种主要的微加工工艺并作了比较,对MEMS技术的应用前景及市场前景进行了分析.

关键词： 微机电系统 微加工技术 表面微加工 体微加工 微加工市场 硅微机械传感器

作者: 蒋军彪 魏芳林 王小斌 陈平

作者单位: 航空六一八所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 38-40

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）