微结构动态特性测量系统研究
研究提出了在不同温度和湿度条件下,DAVIES杆进行微结构动态特性研究的新方法,即,将微结构和一个弹性杆—DAVIES杆置于一个温湿度可调节的环境发生器中,微结构粘贴在DAVIES杆的一端,用高速子弹撞击DAVIES杆的另一端,根据应力计所测应力及应力波在杆内传播的理论模型,可以精确获得微结构所受到的脉冲激励,微结构的响应利用激光位移干涉仪测量,通过输入与输出的拉氏变换,求出微结构的动态响应.文章给出了该方法的基本理论、系统构成,数据处理及结论,其中还较详细地介绍了用于本系统的激光干涉仪的组成特点及其工作原理.
微结构 动态特性 激光干涉仪 应变测量 空气枪 DAVIES杆 微机械电子系统
张文栋 梅田 章 小林 健雄
华北工学院(太原) 工业技术研究院(日本筑波)
国内会议
重庆
中文
381-383
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）