MEMS器件加工过程在线监测技术研究

摘要：

阐述了MEMS器件测试的现状,提出了一种基于虚拟仪器和传统仪器相结合的MEMS器件加工过程在线监测系统.该系统能对MEMS器件的结构形状进行监测,能对MEMS器件的基本性能参数进行测量.系统通用性和可扩充性好,具有较好的工程实用价值.

关键词： MEMS 监控 测试 在线 微机械电子系统

作者: 冯亚林 郝一龙 金玉丰 张大成

作者单位: 北京大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 377-380

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）