一种测量物体微位移和微振动的全光纤干涉仪

摘要：

提出了一种新的用于测量物体的微位移和微振动的半导体激光全光纤干涉仪,在保持纳米精度的前提下,克服了体光学干涉仪难以用于微小物体微位移和微振动测量的缺点.用此干涉仪,测量了压电陶瓷的振动,测量重复精度为1nm.

关键词： 干涉仪 光学检测 半导体激光器 微位移 微振动 压电陶瓷

作者: 王学锋 王向朝 张彩妮 陈高庭

作者单位: 中科院上海光学精密机械研究所信息光学实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 375-376,380

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）