R相变驱动的TiNi/Si复合泵膜的研究

摘要：

TiNi形状记忆合金薄膜微驱动器是微机电系统(MEMS)中研究应用的一个重要方向.对于富Ti薄膜,由于其R相变的热滞极小,有助于改善驱动膜的频响特性.本文采用常规微细加工的方法制备了这种具有R相变的TiNi/Si复合泵膜,并对其工作特性进行了测试.研究表明:TiNi薄膜的R相变可以作为微驱动器的驱动源,并可实现较高频率的驱动(166Hz);另外,加热电流和驱动频率对泵膜的驱动性能均有显著影响.

关键词： 微机电系统 泵膜 形状记忆合金 薄膜 微泵

作者: 程秀兰 陈鉴 徐东 蔡炳初 丁桂甫 王莉

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 372-374

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）