动态被动阀微泵的研究
介绍了动态被动阀微泵的工作原理及其特点,在研究中利用有限元方法及相关工具对其结构进行分析设计,在加工工艺中提出了二次腐蚀工艺技术,简化和改进了工艺过程,并对这些方法与技术中相关的问题进行了研究和讨论.
动态被动阀 微泵 微细加工 微机械电子系统 有限元方法 腐蚀工艺
徐正福 陈文元 张卫平 陈晓梅
上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室(上海)
国内会议
重庆
中文
366-368
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）