悬浮转子式微陀螺的研究
利用二组数个独特的平面线圈产生的电磁感应力和静电驱动力,能使微小转子浮起与稳定,并借助于移相电路使转子转动,加上集成在二组平面线圈之间的4个电容传感电极构成了悬浮转子二自由度微陀螺.本文作者阐述了该微陀螺的原理、构成及难点.
悬浮 静电力 微陀螺 耦合电磁场 微加工
陈文元 吴校生 张卫平 赵小林 陈晓梅
上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室(上海)
国内会议
重庆
中文
364-365
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）