多质量与单质量三轴硅传感器

摘要：

针对两类三轴硅加速度传感器,文中从结构、工作机理到制作工艺过程都作了详尽的剖析.从公布的测试结果来看,多质量三轴技术所受限制较少,易满足大量程、抗干扰的要求;而单质量三轴设计体积优化,适合小量程或是对异轴灵敏度要求较底的场合.

关键词： 微加工 多质量三轴 单质量三轴 硅传感器 微加工

作者: 彭勃 胡军 吴嘉丽 苏伟

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所(绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 361-363

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）