新型压阻式CMOS集成加速度计的研制

摘要：

主要论述了一种具有温度补偿的新型高精度、高过载复合硅加速度计的结构及工作原理,并对研制这种集成加速度计的关键工艺艺以及与之集成的CMOS电路部分进行了探讨.

关键词： MEMS 加速度计 集成加速度计 梁、压阻式 CMOS 温度补偿

作者: 贾景彬 刘蓓 张威 李婷 张大成

作者单位: 北京大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 358-360,371

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）