高精度单晶硅加速度计

摘要：

概述了适用于惯导系统的单晶硅加速度计的设计思路和基本结构,并介绍了加速度计的核心部件单晶硅摆片和伺服线路的制造技术.测量结果表明,该加速度计的精度达到了5×10<”-5>,具有广泛的用途.

关键词： 单晶硅加速度计 体硅加工 硅传感器 伺服线路

作者: 高力 陈平

作者单位: 西安飞行自动控制研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 355-357

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）