一种静电式微型镊子的研究

摘要：

提出一种新型的由静电驱动的微型操控系统,可用来夹持50~200μm的微粒.文中阐述了用碳纤制做微型镊子的过程,对其电压-位移进行测定,对该系统进行理论模拟计算.本文中的碳纤维微型镊子臂在电压加到208V时突然合拢,与理论值230V基本相符.

关键词： 微型镊子 碳纤维 微系统 静电驱动 微机械电子系统

作者: 袁大军 黄文浩 臧晨 褚家如 王英男

作者单位: 中国科技大学精密机械精密仪器系,SPM与纳米技术实验室(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 353-354,368

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）