一种用于微装配系统的压电微夹钳

摘要：

利用PbNi<,1/3>Nb<,2/3>-PbZrO<,3>-PbTiO<,3>三元系压电陶瓷设计制作了双悬臂梁结构的微夹持器,用于微装配系统的操作手.对压电陶瓷材料的性能和压电微夹持器的准静态位移进行了实验研究.结果表明:当应用200V的电压时,夹持器张开距离可达200μm,具备夹持微型器件的能力.

关键词： 微夹钳 压电悬臂梁 微装配系统 微机械电子系统 压电材料

作者: 陈海(龙天) 曹长江 张琛 孟中岩

作者单位: 上海交通大学复合材料研究所(上海) 上海交通大学信息存储研究中心(上海) 上海大学材料科学与工程学院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 350-352

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）