微机电系统(MEMS)技术及其动态

摘要：

系统阐述微机电系统及微机电系统技术的加工工艺、测试技术、研究课题、应用前景.最后就微机电系统与技术的发展前景及其国内外发展的动态进行展望.

关键词： 微机电系统(MEMS)技术 微机械 加工工艺 测试技术 能束加工 纳米技术

作者: 许高攀 陈广文 胡国清

作者单位: 厦门大学机电系(厦门)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 34-37

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）