微探针式六维力传感器原理与力学分析

摘要：

提出一种基于硅压阻效应并能够采用MEMS技术制作的微探针式六维力传感器,它具有成本低、尺寸小、精度高的优点.文中分析了微探针式六维力传感器在受力情况下的应力状态,进而阐述了它的工作原理.该传感器的尺寸拟定为3mm×1mm×0.5mm.

关键词： 六维力传感器 MEMS 探针式 应力状态 敏感元件

作者: 熊小义 梅涛 孔德义 李科 陈永

作者单位: 中国科学院合肥智能机械研究所,传感技术国家重点实验室(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 339-342

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）