一种基于SOI材料的光功率分配器

摘要：

介绍了一种利用硅的各向异性腐蚀特性在SOI材料上实现的光功率分配器,文中阐述了分配器的结构原理,制作方法,并给出了初步的测试结果.该功率分配器利用硅和空气的界面作为全反射镜面在短距离内实现了输出分支的间距为250μm的低损耗功分器.

关键词： 光功率分配器 SOI 弯曲波导 转弯微镜 光波导 微机械工艺 各向异性腐蚀

作者: 唐衍哲 王文辉 李铁 王跃林

作者单位: 浙江大学信息与电子工程学系(杭州) 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点联合实验室(上海) 浙江大学信息与电子工程学系(杭州);中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点联合实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 334-335,352

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）