基于MEMS技术的微反应器的设计和制作

摘要：

基于MEMS技术设计和制作了一种微型的、集成的生物化学反应器.文中阐述了微反应器的结构、工艺及工作特性.该反应器的反应池体积的2μL,集成了加热子,温度传感器.为了得到比较均匀的温度场,设计了两种形式的加热子,利用IntelliSuite<”TM>商业软件计算了它们的热分布状况,工艺实现了一种结构.微反应器的热响应速度快,可达15℃/s.该反应器可用于DNA的PCR扩增反应中,也是实验室芯片中的一个重要的部件.

关键词： MEMS技术 集成 微反应器 生物化学装置 加热子 温度场

作者: 赵湛 崔大付 崔铮 于中尧 王利

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京) Rutherford Appleton Laboratory,Chilton,Didcot,Oxon OX11 0QX,UK

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 309-311

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）