硅压阻式棉条检测传感器研制及性能测试

摘要：

提出了适用于纺织机械中的并条机前纺设备的棉条在线检测及纺织质量检测的一种压阻式棉条检测传感器.给出了传感器的结构模型和实测数据.在棉条质量检测上,具有精度高、线形度好、灵敏度高及动态性能好等特点.能适应快速并条机的棉条检测.

关键词： 压阻式芯片 棉条传感器 纺织质量检测 硅集成电路工艺 敏感器件

作者: 蒋庄德 赵玉龙 赵立波

作者单位: 西安交通大学精密工程研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 306-308

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）