自由空间微机械光开关的设计与制作
设计并制作出了一种自由空间微机械单模光开关.该光开关是采用表面微加工技术和体硅微加工工艺制作的.这种光开关采用平面线圈型微电磁执行器驱动一个挡光片,使其切入两根准直单模光纤的光路中从而实现开关功能.并对微电磁执行器的力学和磁学性能进行了分析.该光开关的插入损耗小于2.5dB,回波损耗为30dB.
MEMS 光开关 微执行器 平面线圈 自由空间微机械 有限元模拟
李文军 赵小林 蔡炳初
上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海)
国内会议
重庆
中文
297-299
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）