真空微电子压力传感器研究
主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.
真空微电子 场致发射 台阶阵列 敏感膜 压力特性 压力传感器
陈绍凤 夏善红 白强 张建刚
中国科学院电子学研究所,国家传感技术重点实验室(北京)
国内会议
重庆
中文
294-296
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）