一种新的三轴差分电容式加速度计
介绍了一种新型的全差分三轴电容式加速度计的设计和加工工艺,设计的加速度计具有三个共用同一玻璃衬底的惯性质量,分别用于检测三个垂直方向的加速度.用有限元分析工具ANSYS对器件进行了模拟,模拟结果显示出在谐振频率相同的工作模态下,X、Y和Z轴方向的灵敏度分别为21 fFg<”-1>,21fFg<”-1>和20fFg<”-1>及.采用硅/玻璃阳极键合工艺和ICP深反应离子腐蚀工艺相结合的加工方法使得器件的制作非常简单.
电容式 键合 有限元分析 模态 硅微加工 微加速度计
曹新平 张大成 王阳元
北京大学微电子所(北京)
国内会议
重庆
中文
291-293
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）