SU-8垂直微镜型MEMS光开关的设计与制作

摘要：

介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩展为大规模光开关阵列等特点.该光开关利用残余应力使垂直微镜的氮化硅/多晶硅微梁翘离基底,在静电力作用下,微梁带动微镜移动以切换开关状态.本文对光开关的主要力学参数进行了仿真计算,与实验结果基本一致.

关键词： MEMS 光开关 垂直微镜 SU-8 静电驱动 硅表面工艺

作者: 刘素艳 卜敏强 叶雄英 周兆英

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 288-290

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）