真空微电子压力传感器及其特性研究

摘要：

介绍了作者在真空微电子压力传感器研究方面所做的工作,以及最新研究进展和实验结果,并就真空微电子压力传感器的优点及其发展阐述了个人观点.

关键词： 真空微电子 压力传感器 阴极结构 封装

作者: 夏善红 陈绍凤

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 285-287

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）