薄膜平面射频集成电感器的FFT模拟

摘要：

用快速傅立叶变换法(FFT)和磁镜像法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了微磁学分析.根据模拟结果,对射频集成电感器的结构参数和加工参数进行了优化.这种模拟方法同样适用于永磁执行器的受力分析和电磁型微马达的优化分析.

关键词： 集成电感器 快速傅立叶变换法(FFT) 磁镜像法 单片微波集成电路(MMIC)

作者: 向三名 章吉良 张明生

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 272-274

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）