微机械SiN梁非线性振动特性研究

摘要：

利用MEMS技术研制了用于高精度谐振式压力传感器的SiN梁谐振器.器件采用电热激动、压阻拾振方式.本文阐述了SiN谐振器的结构、制作工艺,并通过开环频扫方法测定了SiN梁的线性及非线性振动频响特性.低真空下谐振器Q值接近7000,高真空下可达到40000.当激励足够大时,谐振器呈现非线性硬弹簧频响特性.

关键词： 氮化硅梁 谐振器 非线性振动 硬弹簧 微电子机械系统

作者: 陈德勇 崔大付 王利 于中尧

作者单位: 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 256-258

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）