PZT膜式微驱动器的谐振特性

摘要：

采用逆向混合(IMO)溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO<,2>/Si(100)和NiTi/Ti/Si(100)基片制备Pb<,1+x>(Zr<,y>Ti<,1-y>)O<,3>薄膜,以PZT/Pt/Ti/SiO<,2>/Si和PZT/NiTi多层结构(简称PZT/Si和PZT/NiTi结构)为基础制备膜式微驱动器.系统测量了膜式微驱动器的谐振频率、弯曲位移等特性,并比较了两种结构微驱动器的动态工作特性.实验结果表明PZT逆压电效应与NiTi SMA的伪弹性效应耦合,从而设计制备位移量大,响应快的PZT/NiTi膜式微驱动器是可能的.

关键词： PZT 膜式微驱动器 弯曲位移 谐振频率 压电效应

作者: 程晋荣 彭东文 孟中岩

作者单位: 上海大学材料科学与工程学院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 253-255

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）