一种新型微机械陀螺的特性分析
报道了一种新型结构微机械陀螺.新型陀螺的惯性质量块为栅型结构,由弹性悬臂梁支撑.驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方.驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼,且几乎相同.本文对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响.实验测量结果表明,在大气状态下,驱动和敏感检测品质因子Q均达到67.
微机械陀螺 微机械加工技术 角速度传感器 微电子机械加工
熊斌 车录锋 王跃林
中国科学院上海冶金研究所传感技术国家开放实验室(上海)
国内会议
重庆
中文
247-249
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）