基于加权残值法的MEMS系统级仿真建模

摘要：

系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节.本文提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型,介绍MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法.由于MWR独特的优点,可以克服目前MEMS建模方法存在的缺点,非常适合MEMS建模,MWR有可能成为MEMS系统级仿真建模的统一理论和方法.

关键词： MEMS CAD 系统级仿真 加权残值法 微机械电子系统 硅加工工艺

作者: 孙道恒 陈永明 李文望

作者单位: 厦门大学机电工程系(厦门)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 243-246

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）