微尺度光栅衍射特性的分析

摘要：

微光栅是微系统的重要元器件之一.文章中用一个等效模型来分析了微光栅的衍射问题,结果表明:当光栅的尺寸接近波长时,衍射级次退化至只有零级和±1级的状况,而光栅的衍射效率和衍射角之间的关系较明显.

关键词： 微光栅 衍射 等效模型 光机电一体化 二元光学元件

作者: 陈文涛 钟先信 巫正中 徐道连 肖沙里

作者单位: 重庆大学微系统研究中心(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 241-242,274

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）