RF MEMS技术的发展及应用研究

摘要：

介绍了目前处于国际前沿领域的RF MEMS技术动态.且对加工工艺、加工手段,以及在加工、封装和应用中所面临的技术难点作了详细介绍.重点阐述了RF MEMS研究中的关键技术以及RF MEMS的应用.结合国内外RF MEMS发展提出优化加工工艺,促进产业化进程.表明RF MEMS可用于无线通信、雷达天线和GPS卫星通讯等.

关键词： RF MEMS 加工 封装 微机械电子系统 集成设计 工艺流程 RF开关

作者: 王广龙 周兆英

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 2-4

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）