微机械RF谐振器的机电仿真分析

摘要：

利用有限元仿真技术对微机械谐振器的力学特性进行了模拟.利用所得的谐振梁有效质量和有效弹簧常数,建立微机械谐振器的等效电路,并对谐振器的频率响应特性进行仿真.仿真结果与相关的测试结果符合得较好.

关键词： 微机电系统 RF谐振器 机电仿真 无线通信 等效电路模型 有限元法

作者: 潘武 钟先信 巫正中 陈文涛 李晓毅

作者单位: 重庆大学微系统研究中心(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 238-240

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）