叉指式硅微加速度计结构的有限元分析

摘要：

针对叉指式结构论述了硅微加速度计的工作原理,应用有限元方法对体加工的高深宽比器件进行了静力学和动力学分析,分析得到的数据经过最小二乘法处理,拟合出振动质量块宽度与加速度计第一模态固有频率以及折叠梁挠度的关系曲线.这些分析为此类加速度计的设计提供了理论依据.

关键词： 硅微 加速度计 有限元方法 高深宽比 最小二乘法 力学量传感器

作者: 陈光焱 温志渝 苏伟 温中泉 吴英

作者单位: 重庆大学光电工程学院(重庆) 中国工程物理研究院传感器中心(绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 223-225

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）