静电伺服微加速度计稳定性设计技术

摘要：

介绍了静电伺服微加速度计的基本组成、工作原理,详细分析了加速度计的稳定性与横向加速度、电容间隙、偏置电压的关系,指出当满足机械刚度大于偏置电压电刚度,同时偏置电压还应小于与横向加速度、电容间隙、反馈电压有关的一个临界电压时,微加速度计才能处于稳定状态.

关键词： 静电伺服微加速度计 稳定性 偏置电压 横向加速度 电容间隙 机械刚度 电刚度

作者: 何晓平 文贵印 苏伟

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所,传感器研究中心(绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 216-219

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）