梳状叉指电极驱动折叠悬臂梁的运动研究

摘要：

对梳状叉指电极驱动的折叠悬臂梁结构的运动进行了研究.研究表明,在直流电压驱动下,悬臂梁的运动有一阈值;在阈值前,悬臂梁运动位移与驱动电压近似满足S∝U<”2>的关系.本文对此进行了理论分析,同时还对测量值与ANSYS模拟值之间的差异进行了讨论.

关键词： 梳状叉指驱动折叠悬臂梁 驱动电压 运动位移 静电驱动

作者: 王东平 李铁 王文辉 丁纯 王跃林

作者单位: 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 204-206

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）