微机械电子隧穿传感器及其在航天技术中的应用
说明了电子隧穿传感器的工作原理;阐述了微机械电子隧穿红外探测器、微机械电子隧穿加速度计、微机械电子隧穿磁强计等典型的微机械电子隧穿传感器及其在航天技术中的巨大应用潜力和优势;最后介绍了我们在微机械电子隧穿红外探测器、微机械电子隧穿加速度计和微机械电子隧穿陀螺仪方面的研究进展.
微机械 电子隧穿传感器 红外探测器 加速度计 磁强计 陀螺仪 航天技术
杨拥军 赵正平 梁春广
信息产业部电子第十三研究所(石家庄)
国内会议
重庆
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2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）