梳状硅基微陀螺的”Top-down”集成设计及耦合场分析

摘要：

以梳状硅基微陀螺为典型实例,按照MEMS器件集成设计的”Top-down”思想,研究了硅微陀螺的实体建模、有限元分析、相关数据库的建立、工艺过程模拟以及版图生成等设计过程;同时针对硅微陀螺仪存在的机电耦合问题进行了分析研究,以期实现MEMS器件的性能优化,缩短研制周期.

关键词： 微机电系统(MEMS) 集成设计 ”Top-down”方法 梳状硅基微陀螺 耦合场分析

作者: 李伟剑 苑伟政

作者单位: 西北工业大学微/纳系统实验室(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 197-200

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）