用于计算硅各向异性腐蚀速率的新方法
提出了一个用于计算硅各向异性腐蚀速率的新方法.此方法从微观角度出发,根据实际的腐蚀化学反应过程确定了若干微观状态,根据统计物理的主方程组的方法,同时将腐蚀温度、浓度等对腐蚀速率的影响考虑了进去,列出了各微观状态之间相互转换的关系式.根据以上提出的关系算出了各主要晶面的腐蚀速率,并且将计算结果与实验结果进行了对比,结果证明了此算法的合理性,本文作者提出的微观参数可以看作是宏观参数在微观状态的反应.
各向异性腐蚀 激活能 腐蚀速率 体加工工艺 微机械电子系统
姜岩峰 黄庆安 吴文刚 郝一龙 杨振川
东南大学微电子中心(南京) 北京大学微电子所(北京)
国内会议
重庆
中文
188-191
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）