驱动膜图案化设计及分析
为了满足形状记忆效应的温度条件,我们将复合驱动膜中的形状记忆合金薄膜图形化成电阻条形式作为自身加热电阻.本文提出了两种电阻条图案设计方案,并通过采用有限元法对其进行了分析,否定了一种方案,对另一中方案中出现的问题提出了改进的措施.本工作的结果对于加快本器件的开发进度及进一步优化性能都具有重要的指导意义.本文还表明了有限元仿真在器件的开发过程中是一个非常重要的阶段,应该引起我们的重视.
驱动膜 微驱动器 有限元分析 耦合场分析 形状记忆效应 电阻条图案设计
陈鉴 程秀兰 徐东 蔡炳初
上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心(上海)
国内会议
重庆
中文
185-187
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）