一种基于特征传递的MEMS”Top-down”集成设计方法

摘要：

结合微陀螺的设计,提出了一种新的”Top-down”集成设计方法,并研究了从MEMS器件的三维实体模型自动生成二维版图文件的关键技术,从而实现”Top-down”集成设计过程.

关键词： MEMS 集成设计 ”Top-down”方法 特征传递 微机械电子系统 微陀螺

作者: 常洪龙 苑伟政

作者单位: 西北工业大学,飞行器制造工程系,微/纳米系统实验室(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 182-184

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）